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| 参数 | 指标值 |
|---|---|
| 极限真空度关键 | 1×10⁻² ~ 5×10⁻³ Pa（空载） |
| 溅射靶材 | Au-PdPtC （可选 Au-Pd/Pt/C） |
| 腔体直径关键 | 100 ~ 200 mm（有效内径） |
| 镀膜均匀性关键 | ±3 ~ ±8%（φ100mm基片中心区） |
| 样品台转速 | 0 ~ 60 rpm（可调） |
台高仪器内置智能控制系统，可对接实验室物联网（IoT）平台，实现运行数据联网采集、异常预警与远程状态监控，降低现场值守与停机风险。
运行参数实时上传，集中可视
阈值越界主动提醒，防患未然
异地查看设备状态与运行日志
